顕微鏡下自動レーザマーキングシステム キャラクターマーカー

顕微鏡下自動レーザマーキングシステム キャラクターマーカー

顕微鏡観察しながらターゲットにレーザでマーキングを行うシステムです。SEMやFIBで直接観察することが困難な欠陥やコンタミを光学顕微鏡の微分干渉観察や暗視野観察で検鏡しターゲット周辺にマーキングすることでストレスなくSEM/FIBによる測定を可能にします。基本システムは、光学顕微鏡をベースにレーザマーキング装置と自動XYステージを制御ソフトウエアで統合しターゲット周辺に自動で任意図形や文字をマーキングします。オプションとしてデジタルカメラ、顕微鏡の制御を追加し、さらに欠陥検査装置等の他装置のマップを共有しレビューするオプションも提供します。

特長

• ほとんどの正立/倒立顕微用へ取り付け可能です。
• ご使用中の顕微鏡へも後付可能です。
• マーキングと同時に検鏡可能です。
• 最小0.3umの微小マーキング。
• デジタルカメラ、電動顕微鏡の制御も可能です。（オプション）
• 欠陥検査装置の座標マップを利用してターゲット座標をレビュー（オプション）
• サンプル、目的により仕様を変更します。（オプション）

主なアプリケーション

• SEM観察前のマーキング。極力パーティクルの発生を抑えます。
• FIB加工による断面観察前のマーキング。位置精度も高いので微小ターゲットも見逃しません。
• ガラス下のターゲット周辺へのマーキング。

欠陥検査装置との座標データ共有（オプション）

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●ご使用中の欠陥検査装置の欠陥座標マップと連携させることができます。表示されたマップ上の欠陥をクリックするか欠陥IDを入力することで、欠陥場所へステージが移動します。簡単にマーキングを行い、SEMやFIB観察等の次のステップへスムーズに移行できます。

• ・スムーズに欠陥観察
• ・5種類のアライメント機能で位置決め精度を向上
• ・顕微鏡の制御も統合可能
• ・デジタルカメラ制御も統合可能

制御ソフトウエア

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●操作ウインドウ

• レーザマーク：図形や文字列をマーキングします。
• ステージ：絶対座標を指定して移動します。
• ステップ移動：指定した移動量分ステップ移動します。
• ポイント：任意の座標を登録可能です。
• アライメント座標：座標を2点指定し傾きを補正します。
• ウエハ円周アライメント：エッジ3点を指定し補正します。

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●詳細加工ウインドウ

• マーキングドット数の設定。
• 詳細な図形サイズや角度の設定。
• 文字列の幅や文字列を設定。
• ポイント：任意の座標を登録可能です。
• アライメント座標：座標を2点指定し傾きを補正します。
• ウエハ円周アライメント：エッジ3点を指定し補正します。

製品構成

システム構成は詳細お打ち合わせの上決定いたします。まずはご要望をお聞かせ下さい。

参考動画

モニタのライブ上のターゲットをクリックすると自動XYステージが作動し、ターゲットを視野中心へ移動します。次にマーキングメニューからマスク十字を選ぶとターゲット周辺にマーキングされます。

マニュアル

>>>Download the instruction manual in Chinease

カタログダウンロード

カタログダウンロード：光学顕微鏡自動レーザマーキングシステム キャラクターマーカー