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- ・オレンジピール（研磨面に生じた、丸みを帯びた無数の凹凸
- ・研磨痕
- ・面ダレ（研磨時に素板端面部が意図されずに多く削られた状態。）
- ・接着痕
マクロ欠陥検査装置 ED-Scope
ED-Scopeは、光学ガラスの素板や薄膜、ウエハなどの表面欠陥や内部欠陥を可視化するための装置です。通常、目視で検査を行う工程では作業者の能力による誤差やヒューマンエラーが発生し、安定した検査結果を得ることが困難です。そこで、特殊光学系・CMOSカメラ・特殊画像処理ソフトウエアを組み合わせたED-Scopeを用いて人の目視で確認しにくい微細な欠陥を広い視野で可視化することで、検査精度を向上し、異なる作業者間の誤差を低減します。出荷検査や受け入れ検査で使用し、歩留まり・品質向上に貢献します。
検査対象
透過サンプル：光を透過するサンプル（ガラス、水晶、サファイア、樹脂フィルム等）のキズ・膜ムラ・研磨痕などの表面欠陥や脈理や成長縞のような内部欠陥。
反射サンプル：光を透過しないサンプル（シリコンウエハなど）のウオータマーク・ディンプ
ル・薄膜のムラ・液ダレ・ソーマーク・クラック・スクラッチなどの表面欠陥。
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- ・脈理（欠陥の一種。周りの正常な屈折率と違う屈折率が局所的に生じる。）
- ・成長縞（結晶成長に見られる縞）
- ・双晶（双晶境界は面欠陥。）
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- ウォーターマーク
- 研磨痕
- 薄膜ムラ
- パターン欠陥
原理
V-Scopeの観察原理は特殊な照明方法です。点光源から照射された光束を2枚の鏡を用いて理想的な平行光束を作り出し、観察サンプルを透過させます。透過した光束は最下部のミラーから反射されて再び観察サンプルを透過しカメラに結像されます。このとき、サンプルにキズや脈理などにより屈折率の差が発生していると、それが影となり画像表示されます。反射サンプルの場合は、サンプル自身が鏡の役割になり、カメラに結像します。
仕様
| 本体部ユニット構成 | 特殊照明（観察部） | 高解像度マクロレンズ、デジタルCMOSカメラ、特殊照明部、微動チルト試料台 |
|---|---|---|
| PC部ユニット構成 | 表示部 | PC（windows10）、液晶モニタTFTワイド28インチ |
| 観察仕様 | 2照明法 | 反射光（表面欠陥）/透過光観察（内部欠陥） |
| デジタルUSBカメラ カラー or モノクロ |
解像度 | 500万画素CMOSカメラ （2/3インチ、2448 x 2048画素） |
| フレームレート ・記録 |
35フレーム/秒（MAX）：静止画（BMP/JPG）、動画（MPG） | |
| 電源 | DC+5V（500mA）：ACアダプタ | |
| 光学系視野範囲 | 焦点距離 70 mm～300mm |
最小約１３６ｍｍ（水平）×１１５ｍｍ（垂直） |
| 最大約３４mm（水平）×２８ｍｍ（垂直） | ||
| 光源（LED 3W） | 白色LED（標準） 他波長あり |
3W、平均寿命約25000h（使用方法環境に依存）、光量絞り 0～8段階 |
| ED特殊画像処理 | 複数の画像DATAを使った特殊な画像処理ソフトウエア | |
| ED処理自動制御機構 | ステッピングモータ駆動（5相） | フォーカス機構をPCよりモータ自動制御・設定 |
| 供給電源 | PC・ﾓﾆﾀｰ・光源・CMOSカメラ・モータドライバー | AC１００V（PC・モニター）・ACアダプター（光源：DC５V)・CMOSカメラ：DC5V:USB3.0 AC100（モーター）・DC24V（モータードライバー） |
| 寸法、重量 | （WxDxH、mm） | 300（Ｗ）x 470（Ｄ）x 990（Ｈ）ｍｍ ・約30Kg |
※画像判別ソフトは、各欠陥判別の仕様内容が異なるため、別途相談とさせていただきます。
※PC仕様は、変更する場合がございますのでご了承ください。
※その他、ご要望に応じてカスタム致します。ご相談ください。
※アップグレードにより「V-Scope」から「ED-Scope」に製品名称を変更いたしました。
