顕微鏡用ウエハローダ（ウエハ搬送装置）

ウエハやガラス製品を顕微鏡へ搬送する装置です。100mm（4インチ）、150mm（6インチ）、200mm（8インチ）、300mm（12インチ）のウエハや角型のガラスに対応可能です。御客様の要望に合わせて構成・仕様を提案致します。

ソフトウエア機能		詳細
対応ウエハサイズ		100mm（4インチ） 150mm（6インチ） 200mm（8インチ） 300mm（12インチ）
対応ガラスサイズ		角 50 mm x 300 mm
ウエハ厚み		250um～1500um
ノッチ/オリフラ		透過型センサ検出
カセット		要確認、複数の種類も対応可能な場合がございます。
オプション		自動ステージレーザマーキング機能欠陥検査装置の座標マップとリンク裏面マクロ/表面マクロ検査機能その他要望に合わせてご提案致します。

オーダーメイドな製品です。お気軽にご相談ください。