FPD用レーザーリペア装置
レーザーリペア機能を搭載した検査顕微鏡装置です。大型のフラットパネルにも対応できるステージを有し、すべての工程のレーザーリペアに御使用いただけます。
300台以上の納入実績がございます。
仕様
| 製品名称 | Laser Repair |
|---|---|
| 目的 | レーザーリペア |
| クラス | オンライン/オフライン |
| サイズ | 要望に対応 （4G～） |
| 機能 | 顕微鏡を用いたレーザーリペアと光学検査 |
| 使用される場所 | TFT C/F工程、Cell、モジュール、OLED Cell |
FPD用レーザーリペア装置
