デスク型アクティブ除振システム VAIS-PT
デスク型のアクテイブ除振システム
VAIS-PT はデスク型のアクティブ除振システムです。空気圧制御のアクティブ除振システムを採用、堅牢なデスクにブレッドボー ドの搭載面を組合せました。
- 高い制振性。強い衝撃を与えてもすぐに静止します。
- 最も静かな振動環境を要求するNIST-A 標準、フィードフォワード/ フィードバックのアルゴリズム採用。20 Hz 以下の周波数範囲において優れた除振性能を発揮
- 搭載物の重量や重心の変化でも一貫して優れた除振効果
除振効果
ナノスケール測定の精度に影響する低周波帯域の振動の除振効果に優れています。
| 5Hz | -20 ～ -25 0.1 [90 %] |
|---|---|
| 10Hz | -40 ～ -45 0.01 [99 %] |
| 20Hz | ca. -40 0.01 [99 %] |
搭載対応機器
特に下記のような検査機器や測定機器に適しています。
- 光学実験用の机として
- AFM（原子間力顕微鏡）
- SPM（走査型プローブ顕微鏡）
- STM（走査型トンネル顕微鏡）
- 光学顕微鏡
- レーザ顕微鏡
- レーザ干渉計
- 表面粗さ計
- 微小硬度計
- ナノインデンター
- 電子天秤
- 膜圧測定器
- その他の除振したい精密機器
仕様
| 制御DOF's | ６自由度アクティブ制御 |
|---|---|
| 制御範囲 | 0.5～1000 Hz |
| パッシブ補助 | 圧縮空気 |
製品リスト
| 型式 | 寸法（幅 x 奥行き x 厚み）[mm] |
|---|---|
| VAIS-PT-0810 | 800 x 1000 x 100 |
| VAIS-PT-0810 | 800 x 1000 x 100 |
| VAIS-PT-0910 | 900 x 1000 x 100 |
| VAIS-PT-1010 | 1000 x 1000 x 100 |
| VAIS-PT-1210 | 1200 x 1000 x 100 |
| VAIS-PT-1212 | 1200 x 1200 x 100 |
| VAIS-PT-1215 | 1200 x 1500 x 100/200 |
| VAIS-PT-1510 | 1500 x 1000 x 100/200 |
| VAIS-PT-1512 | 1500 x 1200 x 200 |
| VAIS-PT-1515 | 1500 x 1500 x 200 |
| VAIS-PT-1810 | 1800 x 1000 x 200 |
| VAIS-PT-1812 | 1800 x 1200 x 200 |
| VAIS-PT-1815 | 1800 x 1500 x 200 |
| VAIS-PT-2010 | 2000 x 1000 x 200 |
| VAIS-PT-2012 | 2000 x 1200 x 200 |
※上記以外のサイズも対応可能です。お問い合わせ下さい。
価格・納期
価格はお問い合わせ下さい。基本納期は受注後約2ヶ月です。
特注対応
搭載する装置、設置環境に合わせて搭載面サイズや素材をカスタム致します。お気軽にご相談下さい。
