自動Z軸ステージ(標準仕様/エンコーダ仕様)
ドイツ・メルツホイザー社の自動Z軸ステージです。光学系等をZ方向に移動させます。XYステージと組み合わせて使用したり、単独で使用することもできます。標準タイプと高精度位置決め可能なエンコーダ内蔵タイプをご用意しています。
特長
- 主にZ軸の位置決め用途
- 50mmと100mmの移動範囲を用意
- PLUSモデルはリニア測定システム内蔵により高精度
- 自動XYステージとの組み合わせ
- 単独でも使用可能
マニュアル操作
操作するためにジョイスティックが用意されています。
XY軸を制御するスティックの上部にZ軸制御のためのダイヤルがデザインされている標準型と、ジョイスティック本体側面にZ軸制御のためのダイヤルがデザインされているマルチファンクション型、人間工学的デザインを取り入れたエルゴドライブの3種が用意されています。
PC制御
制御コントローラTANGOをPCに接続し、付属のソフトウエアSwitchBoardから制御できます。
仕様
仕様: | 50 | 100 | PLUS50 | PLUS100 |
移動範囲 | 50 mm | 100 mm | 50 mm | 100 mm |
移動速度 | 最大 16 mm/s | |||
ボールネジピッチ | 1 mm | |||
繰り返し精度 | ± 1μm | ≦ 1μm | ||
分解能 | 0.01μm | 0.05μm | ||
モータ | 2相ステッピングモータ | |||
リミットスイッチ | ホールセンサー |