回転ウエハーホルダー 4 インチ
- 寸法：116 x 116 x 13.2 mm
- アダプター：メタルプレート 116 x 116 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK100x100, SCAN75x50
メルツホイザー社製自動XYステージ用ウエハホルダー
メルツホイザー社製のウエハーホルダーは、すべて回転機構（θ軸粗動）を備えています。バキュームタイプも用意されています。顧客の要求に応じてカスタム仕様をご提供することも可能です。
製品ラインナップ
回転機構はウエハだけではなく、様々な試料の観察に便利です。また、製品ラインナップ以外のホルダーも作成可能なのでご相談ください。
回転ウエハーホルダー 5 - 6 インチ
- 寸法：168 x 168 x 16.2 mm
- アダプター：メタルプレート 168 x 168 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK150x150, MTM150x150MR, SCAN150x150
回転ウエハーホルダー 5 - 6 - 8 インチ
- 寸法：246 x 246 x 16 mm
- アダプター：メタルプレート 246 x 246 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK200x200, MTM200x200MR, SCAN200x200
回転ウエハーホルダー 6 - 8 - 12 インチ
- 寸法：300.4 X 16 mm
- アダプター：メタルプレート 246 x 246 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK200x200, SCAN200x200
バキューム回転ウエハーホルダー 5 - 6インチ
- 寸法：168 x 168 x 24.5 mm
- アダプター：メタルプレート 168 x 168 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK150x150, MTM150x150MR, SCAN150x150
バキューム回転ウエハーホルダー 6 - 8 インチ
- 寸法：200.4 x 200.4 x 24.5 mm
- アダプター：メタルプレート 246 x 246 mm（L x W）
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK200x200, SCAN200x200 etc...
バキューム回転ウエハーホルダー 8 - 12 インチ
- 寸法：300.4 x 18.5 mm
- アダプター：スキャンニングステージ上に3つのネジで固定
- 素材：アルミニウム、鉄、プラスチック
- 表面：黒色アルマイト処理
- 対応機種：EK300ｘ300, SCAN300ｘ300
※バキュームタイプは、吸引する設備（施設吸引配管や真空ポンプ）と切替スイッチが必要です。別途ご相談ください。
カスタム＆オプション
ご要望に沿って改造やオプションをご提供します。お気軽にご相談下さい。
PTFE表面加工（テフロン加工）
表面をPTFE加工することでさらなる耐摩耗性を向上し、ウエハの摩耗を抑えます。
多孔質吸着ステージ（ポーラスチャック）
2umの無数の孔を有する素材を用いた吸着ステージです。搭載面全面が吸着するため、搭載面サイズ以下のサンプルや複数のサンプルを同時に吸着することも可能です。
