脈理、成長縞、オレンジピール、研磨痕を可視化します。

TEL044-981-0025

画像観察装置V-SCOPE

V-Scopeは、光学ガラスの素板や薄膜、ウエハの表面欠陥や内部欠陥などを可視化するための装置です。通常、目視で検査を行う工程では作業者の能力による誤差やヒューマンエラーが発生し、安定した検査結果を得ることが困難です。そこで、V-Scopeにより、より微細な欠陥を可視化することで、検査精度を向上し、異なる作業者間の誤差を低減します。出荷検査や受け入れ検査で使用し、歩留まり・品質向上に貢献します。

検査対象

光を透過するサンプル(ガラス、水晶、サファイア、樹脂フィルム等)のキズ・膜ムラ・研磨痕などの表面欠陥や脈理や成長縞のような内部欠陥、シリコンウエハのような光を透過しないサンプルのヘウ面欠陥を可視化します。

●表面欠陥(ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板の表面欠陥)
透過サンプル ※クリックすると拡大表示します。
  • ・オレンジピール(研磨面に生じた、丸みを帯びた無数の凹凸
  • ・研磨痕
  • ・面ダレ(研磨時に素板端面部が意図されずに多く削られた状態。)
  • ・接着痕
●内部欠陥(ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板)
透過サンプル ※クリックすると拡大表示します。
  • ・脈理(欠陥の一種。周りの正常な屈折率と違う屈折率が局所的に生じる。)
  • ・成長縞(結晶成長に見られる縞)
  • ・双晶(双晶境界は面欠陥。)
●シリコンウエハの表面欠陥
反射サンプル ※クリックすると拡大表示します。
  • ウォーターマーク
  • 研磨痕
  • 薄膜ムラ
  • パターン欠陥

原理

V-Scopeの観察原理はシャドウフラフ法です。シャドウグラフ法とは、点光源から照射された光束を2枚の鏡を用いて理想的な平行光束を作り出し、観察サンプルを透過させます。透過した光束は最下部のミラーから反射されて再び観察サンプルを透過しカメラに結像されます。このとき、サンプルにキズや脈理などにより屈折率の差が発生していると、それが影となり画像表示されます。反射サンプルの場合は、サンプル自身が鏡の役割になり、カメラに結像します。

仕様

本体部ユニット構成 特殊照明(観察部)

高解像度マクロレンズ、デジタルCCDカメラ、

特殊照明部、試料台、スタンド

PC部ユニット構成   PC(windows7)、液晶モニタTFTワイド20インチ
観察仕様 2照明法 反射光/透過光観察(表面欠陥/内部欠陥が可能)

デジタルUSBカメラ

カラー or モノクロ

解像度

200万画素CCDカメラ

(1/2インチ、UXGA1600 x 1200画素)

フレームレート

・記録

20フレーム/秒(MAX)、静止画と動画撮影可能
電源 DC+5V(500mA):USBケーブル供給
光学系視野範囲 NSV-50 最大:約50mm(水平)x 37.5mm(垂直)
NSV-100 最大:約125mm(水平)x 100mm(垂直)
光源 高輝度白色LED光源 1W、平均寿命約25000h(使用方法環境に依存)
光量絞り 可変 0(クローズ)~8段階(オープン)
供給電源 PC、モニタ、光源、カメラ AC100V(PC、モニタ)、ACアダプタ(光源:DC5V、カメラ:DC5V)
寸法(WxDxH、mm) NSV-50/NSV-100 400 x 150 x 900 / 440 x 240 x 940
オプション 偏光観察ユニット 偏光観察機能追加。当オプション時はカラーカメラに変更。
2次元画像計測ソフト(画像判別ソフトは別途相談) 2点間距離・長方形・多角形・楕円・3点円弧・4点角度・垂線・平行線・円・円中心間距離・自由線・タイムラプス・校正(円/目盛/手動校正)

※その他、ご要望に応じてカスタム致します。ご相談ください。

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