AFMやレーザー顕微鏡、白色干渉顕微鏡などの除振に最適な卓上型アクティブ除振台

TEL044-981-0025

卓上型アクティブ除振台 VAIS-AMT045

搭載盤に剛性/質量を有するグラナイトを使用

VAIS-AMT045は卓上型アクティブ除振台です。発生した振動と逆位相の振動を加えることで振動を相殺します。 搭載盤は高い剛性/質量を有するグラナイトを使用しています。 空調や音響の影響を除去する防音ボックスもご用意致します。 搭載面や防音ボックスは搭載機器に合わせてカスタムも可能です。

振動伝達率

振動情報
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除振効果 5Hz -20dB(90%)
  10Hz-40dB(99%)
  20Hz-35~40dB(96~99%)

搭載対応機器

特に下記のような検査機器や測定機器に適しています。

  • AFM(原子間力顕微鏡)
  • SPM(走査型プローブ顕微鏡)
  • STM(走査型トンネル顕微鏡)
  • 光学顕微鏡
  • レーザ顕微鏡
  • レーザ干渉計
  • 表面粗さ計
  • 微小硬度計
  • ナノインデンター
  • 電子天秤
  • 膜圧測定器
  • その他の除振したい精密機器

仕様

型式 AMT-045
搭載面サイズ 430mm x 533mm
機器寸法 430mm x 533mm x130mm
最大搭載質量 100kg※均等荷重
制御DOF's 6自由度アクティブ制御
制御範囲 0.5~100Hz(100Hz以上はパッシブ除振)
パッシブ補助 金属バネ
電源 100-230VAC± 10% 50-60Hz
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