顕微鏡/検査装置用手動XYステージ

TEL044-981-0025

手動XYステージ / マニュアル・ステージ EKシリーズ

メルツホイザー社の顕微鏡用手動XYステージは正立顕微鏡、倒立顕微鏡または装置組み込み用にデザインされています。最大移動範囲は400 mm x 400 mmまでご用意致します。ステージ移動範囲が150 mm x 150 mm以上の機種は特許技術のクイック・アジャストメントが装備されているので広い範囲の移動も素早く行えます。 オプションの「プロファイラ―SCD」を追加すればデジタル出力による測長XYステージとしてご使用頂けます。 移動範囲のカスタム、サンプルホルダのカスタムも対応致します。

クイック・アジャストメント機能について

大型ステージに付属するこの機能は、レバー操作によりステージの粗動/微動を切り替えます。例えば、300 mmウエハのような広いサンプルの端から端へ移動する際は、ロック解除することで高速移動が可能です。

手動ステージ

手動顕微鏡用XYステージ EK100x100

手動XYステージ EK100x100
  • ●移動範囲:100mm x 100mm
  • ●重量:1,600g
  • ●耐荷重:5,000g
  • ・ラックアンドピニオン、同軸駆動
  • ・標準装備:ガラスインサート
  • ・観察対象に合わせて各種インサートが選択可能(オプション)

手動顕微鏡用XYステージ EK150x150 (6" x 6")

手動XYステージ EK150x150
  • ●移動範囲:150mm x 150mm
  • ●重量:3,000g
  • ●耐荷重:5,000g
  • ・ラックアンドピニオン、同軸駆動、クイック・アジャストメント機能
  • ・標準装備:ガラスインサート
  • ・各種ウエハホルダ、サンプルホルダが選択可能(オプション)

手動顕微鏡用XYステージ EK200x200 (8" x 8")

手動XYステージ EK200x200
  • ●移動範囲:200mm x 200mm
  • ●重量:6,500g
  • ●耐荷重:5,000g
  • ・ラックアンドピニオン、同軸駆動、クイック・アジャストメント機能
  • ・標準装備:メタルプレート
  • ・各種ウエハホルダ、サンプルホルダが選択可能(オプション)

手動顕微鏡用XYステージ EK300x300 (12" x 12")

手動XYステージ EK300x300
  • ●移動範囲:300mm x 300mm
  • ●重量:18,200g
  • ●耐荷重:5,000g
  • ・ラックアンドピニオン、同軸駆動、クイック・アジャストメント機能
  • ・ウエハホルダ、サンプルホルダが選択可能(オプション)

※上記に無いものはお問い合わせください。

特注対応

1台から特別な仕様変更を承ります。移動範囲の変更、サンプルの固定冶具作成、装置組み込み時の固定等対応可能です。詳細の打ち合わせにより仕様を決定し御見積致します。

納期

納期は受注後約1.5ヶ月から2ヶ月です。ご注文のタイミングにより前後します。

その他、ご不明な点はお気軽にご相談ください。

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