カールツァイス・スペクトロスコピー社フイルム膜厚測定ソフトウエア LabCoat ラボコート
照明光はファイバを通してフィルム上に照射され、その反射光がまたファイバを 通ってスペクトロメータに戻りその反射スペクトルを測定します。フイルムの表面からと裏面からの反射光の位相のズレで起こる干渉の情報が その反射スペクトルに含まれており、解析すれば膜厚に換算できます。堅牢で高安定のカールツァイスＭＣＳスペクトロメータにより、製造ライン等への導入も簡単に行え、容易にリアルタイムの測定システムを構築できます。 カスタムソフトの作成も承っております。
仕様
| 測定波長 | 400nm～950nm （オプションで選択） |
|---|---|
| 測定範囲 | 0.3～150μm |
| 測定再現性 | <0.1μm |
| 測定時間 | <100msec / １測定点 |
| 測定スポット： | 約3mmφ（標準マクロプローブの場合 ※顕微鏡ベースに微小領域での測定も可能です |
